Generador d’oxigen de PSA per a semiconductors

Per què la indústria dels semiconductors necessita generadors d’oxigen PSA?

 

Subministrament de gas d’alta puresa:La fabricació de semiconductors té requisits estrictes sobre la puresa del gas i l’oxigen d’alta puresa és indispensable per a la litografia, la neteja i altres enllaços. Amb l’ajuda de la tecnologia d’adsorció de swing a pressió, el generador d’oxigen PSA produeix oxigen amb una puresa del 95%± 3%, que compleix els requisits de formació de capa d’òxid i neteja de les hòsties i evita el risc de contaminació per impuresa del subministrament tradicional d’oxigen del cilindre de gas.
Assegureu l'estabilitat del procés:Les línies de producció de semiconductors requereixen un subministrament de gas continu i estable. El generador d’oxigen PSA utilitza torres d’adsorció dobles per funcionar alternativament i, mitjançant un control intel·ligent PLC, pot aconseguir 24- hora de subministrament d’oxigen ininterromput, evitar les interrupcions de producció causades per la substitució manual d’ampolles i adaptar -se als processos sensibles a la pressió de l’aire com la deposició de pel·lícula fina i el gravat.
Reduir els costos i optimitzar l’espai:En comparació amb els dipòsits d’emmagatzematge d’oxigen líquid i els cilindres de gas a alta pressió, els generadors d’oxigen PSA produeixen oxigen in situ, reduint molt els costos de transport i emmagatzematge. Té una petita petjada i admet una expansió modular, que satisfà les necessitats de maximitzar la utilització de l’espai en tallers nets de fàbriques de semiconductors. El cost d’ús a llarg termini és aproximadament un 20% inferior al mètode tradicional.
Adaptar -se a processos especials:En processos avançats, alguns processos especials requereixen un control precís de la concentració d’oxigen. El generador d’oxigen PSA pot ajustar de manera flexible la puresa de la sortida d’oxigen (95%-99. 9%) ajustant la pressió d’adsorció i la relació de tamís molecular per complir els requisits especials del procés de la fabricació de memòria flash 3D NAND.
Respectuós amb el medi ambient i fàcil de mantenir:La tecnologia PSA no requereix reactius químics i el procés de producció d’oxigen no emet substàncies nocives, que compleixen els estàndards de protecció ambiental de la indústria de semiconductors. L’equip utilitza acer inoxidable de qualitat alimentària i tamis moleculars auto-netejadors, amb un cicle de manteniment de fins a 3-5 i és adequat per a entorns de fabricació d’hòsties de gran neteja.
 

Consulta gratuïta

 

Tipus de plantes d’oxigen PSA

Equips modulars

 

Equipament de la torre bessona

 

Equipament contenidor

 

1. Fins a quin punt pot ser la puresa d’oxigen i compleix els requisits de la fabricació de semiconductors?
El nostre generador d’oxigen PSA per a semiconductors pot produir rutinàriament oxigen amb una puresa del 95%± 3%. Per a alguns processos que requereixen una puresa d’oxigen extremadament elevada, ajustant els paràmetres de l’equip, la puresa de la sortida d’oxigen es pot controlar de manera flexible dins del rang del 95% {{3}.

2. Què tan estable és l’equip i pot assegurar el funcionament continu de la línia de producció de semiconductors?
L’equip adopta un mode de treball alternatiu de torre d’adsorció doble, combinat amb un sistema de control intel·ligent PLC, per aconseguir 24- hora ininterrompuda i subministrament d’oxigen estable. Aquest mode de funcionament automatitzat evita les interrupcions de subministrament de gas causades per la substitució manual de les ampolles, proporciona un subministrament de gas fiable i estable per a processos com la deposició de pel·lícules primes i el gravat que són sensibles a la pressió de l’aire i redueix efectivament el risc d’interrupcions de producció causades per problemes de subministrament de gas.

3. En comparació amb els mètodes tradicionals de subministrament d’oxigen, quin és el cost d’ús?
En comparació amb els dipòsits d’emmagatzematge d’oxigen líquid o els cilindres de gas d’alta pressió, el nostre generador d’oxigen PSA adopta el mode de producció d’oxigen in situ, que estalvia molt els costos del transport i l’emmagatzematge d’oxigen. L’equip ocupa una zona petita i es pot ampliar modularment, reduint els costos de lloguer del lloc. A llarg termini, el cost és aproximadament un 20% inferior al mètode de subministrament d’oxigen tradicional, que estalvia significativament els costos operatius.

5. És complicat el manteniment de l’equip? Quant dura el cicle de manteniment?
L’equip és fàcil de mantenir, utilitzant acer inoxidable de qualitat alimentària i tamisos moleculars auto-netejadors, cosa que redueix molt la càrrega de treball de manteniment. En circumstàncies normals, el cicle de manteniment és tan llarg com 3-5 anys, i estem equipats amb un equip postvenda professional per proporcionar suport tècnic en qualsevol moment per ajudar-vos a resoldre problemes durant el funcionament de l'equip.

Etiquetes populars: Generador d’oxigen de PSA per a semiconductors, generador d’oxigen PSA de la Xina per a semiconductors, proveïdors, fàbrica